真空鍍膜設(shè)備主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。那么，真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件以及保養(yǎng)方法有哪些？我們一起來(lái)看看吧！

一、真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件



1、環(huán)境溫度：10~30℃



2、相對(duì)濕度：不大于70%



3、冷卻水進(jìn)水溫度：不高于25℃



4、冷卻水質(zhì)：城市自來(lái)水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?br />


5、供電電壓：380V，三相50Hz或220V，單相50Hz（由所用電器需要而定），電壓波動(dòng)范圍342~399V或198V~231V，頻率波動(dòng)范圍49~51Hz；



6、設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)上寫(xiě)明。



7、設(shè)備周?chē)h(huán)境整潔、空氣清潔，不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵埃或氣體存在。



此外，真空鍍膜設(shè)備所在實(shí)驗(yàn)室或車(chē)間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無(wú)塵埃。為防止機(jī)械泵工作時(shí)排出的氣體對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道（金屬、橡膠管）的辦法，將氣體排出室外。



二、真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法



1真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。



方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。



2當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。



方法：擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開(kāi)，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。



3在重新開(kāi)機(jī)前，要注意檢漏。



擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng)，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤(pán)，將一級(jí)噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機(jī)。在重新開(kāi)機(jī)前，要注意檢漏工作。



方法：?jiǎn)?dòng)維持泵，關(guān)好大門(mén)，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。
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